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SENSIRION質(zhì)量流量控制器SFC5400資料
SENSIRION質(zhì)量流量控制器SFC5400是一款針對多種應用的多功能控制器。
SFC5400質(zhì)量流量控制器以優(yōu)異的精度、長期穩(wěn)定性和可重復性測量和控制質(zhì)量流量,覆蓋寬動態(tài)測量范圍。SFC5400可高度配置,其外殼由金屬制成。此外,流量控制器可使用各種電氣接口和各種流體連接件,測量50 sccm到200 slm的大流量。傳感器信號可在芯片上直接轉(zhuǎn)換成100%校準和經(jīng)溫度補償?shù)臄?shù)字信號。多氣體校準可存儲在單個器件上。此外,流量控制器還可檢查激活的氣體校準與實際氣體是否匹配。SFC5400的通用性使之成為了工業(yè)和醫(yī)療應用的理想解決方案。
SFC5400質(zhì)量流量控制器與所有傳感器產(chǎn)品一樣,依賴創(chuàng)新的CMOSens? 技術(shù),在一個CMOS硅芯片上集成了高精度傳感器元件及模擬和數(shù)字處理電路,可保證優(yōu)異的性能。配合材料,SFC5400可實現(xiàn)持久穩(wěn)定、快速和高度的流量控制。
SFC5400質(zhì)量流量控制器也提供無閥版本。SFM5400質(zhì)量流量計與質(zhì)量流量控制器具有相同性能特性,可用在類似應用當中,SFC5400和SFM5400可組合在一起。在SFM5400網(wǎng)站,您可以找到關于質(zhì)量流量控制器的更多信息和詳細規(guī)格。
SENSIRION質(zhì)量流量控制器SFC5400性能參數(shù)
超快速氣體流量控制(穩(wěn)定時間<100 ms)
超低流量測量時的高精度(< 1sccm)
出色的長期穩(wěn)定性和可靠性
無老化效應
寬動態(tài)范圍(量程比1000:1)
多氣體配置
高配置
源于CMOSens?技術(shù)的*性價比
數(shù)字和模擬接口
靈活機械連接選項:向下安裝、VCR和VCO、Swagelok、C-/W-Seal等。
如有需要,可提供定制版本
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